半導(dǎo)體制造翻譯
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導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體(insulator)之間的材料,叫做半導(dǎo)體(semiconductor).
物質(zhì)存在的形式多種多樣,固體、液體、氣體、等離子體等等。我們通常把導(dǎo)電性和導(dǎo)電導(dǎo)熱性差或不好的材料,如金剛石、人工晶體、琥珀、陶瓷等等,稱為絕緣體。而把導(dǎo)電、導(dǎo)熱都比較好的金屬如金、銀、銅、鐵、錫、鋁等稱為導(dǎo)體。可以簡單的把介于導(dǎo)體和絕緣體之間的材料稱為半導(dǎo)體。與金屬和絕緣體相比,半導(dǎo)體材料的發(fā)現(xiàn)是最晚的,直到20世紀30年代,當(dāng)材料的提純技術(shù)改進以后,半導(dǎo)體的存在才真正被學(xué)術(shù)界認可。
電阻率介于金屬和絕緣體之間并有負的電阻溫度系數(shù)的物質(zhì)。半導(dǎo)體室溫時電阻率約在10-5~107歐·米之間,溫度升高時電阻率指數(shù)則減小。半導(dǎo)體材料很多,按化學(xué)成分可分為元素半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體兩大類。鍺和硅是最常用的元素半導(dǎo)體;化合物半導(dǎo)體包括Ⅲ-Ⅴ
族化合物(砷化鎵、磷化鎵等)、Ⅱ-Ⅵ族化合物(
硫化鎘、硫化鋅等)、氧化物(錳、鉻、鐵、銅的氧化物),以及由Ⅲ-Ⅴ族化合物和Ⅱ-Ⅵ族化合物組成的固溶體(鎵鋁砷、鎵砷磷等)。除上述晶態(tài)半導(dǎo)體外,還有非晶態(tài)的玻璃半導(dǎo)體、有機半導(dǎo)體等。
本征半導(dǎo)體
不含雜質(zhì)且無晶格缺陷的半導(dǎo)體稱為本征半導(dǎo)體。在極低溫度下,半導(dǎo)體的價帶是滿帶(見能帶理論),受到熱激發(fā)后,價帶中的部分電子會越過禁帶進入能量較高的空帶,空帶中存在電子后成為導(dǎo)帶,價帶中缺少一個電子后形成一個帶正電的空位,稱為空穴(圖
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)。導(dǎo)帶中的電子和價帶中的空穴合稱電子
-
空穴對,均能自由移動,即載流子,它們在外電場作用下產(chǎn)生定向運動而形成宏觀電流,分別稱為電子導(dǎo)電和空穴導(dǎo)電。
這種由于電子-空穴對的產(chǎn)生而形成的混合型導(dǎo)電稱為本征導(dǎo)電。導(dǎo)帶中的電子會落入空穴,電子-空穴對消失,稱為復(fù)合。復(fù)合時釋放出的能量變成電磁輻射(發(fā)光)或晶格的熱振動能量(發(fā)熱)。在一定溫度下,電子
-
空穴對的產(chǎn)生和復(fù)合同時存在并達到動態(tài)平衡,此時半導(dǎo)體具有一定的載流子密度,從而具有一定的電阻率。溫度升高時,將產(chǎn)生更多的電子
-
空穴對,載流子密度增加,電阻率減小。無晶格缺陷的純凈半導(dǎo)體的電阻率較大,實際應(yīng)用不多。
半導(dǎo)體中雜質(zhì)
半導(dǎo)體中的雜質(zhì)對電阻率的影響非常大。半導(dǎo)體中摻入微量雜質(zhì)時,雜質(zhì)原子附近的周期勢場受到干擾并形成附加的束縛狀態(tài),在禁帶中產(chǎn)加的雜質(zhì)能級。存在受主雜質(zhì)時,在價帶中形成一個空穴載流子所需能量比本征半導(dǎo)體情形要小得多。半導(dǎo)體摻雜后其電阻率大大下降。加熱或光照產(chǎn)生的熱激發(fā)或光激發(fā)都會使自由載流子數(shù)增加而導(dǎo)致電阻率減小,半導(dǎo)體熱敏電阻和光敏電阻就是根據(jù)此原理制成的。對摻入施主雜質(zhì)的半導(dǎo)體,導(dǎo)電載流子主要是導(dǎo)帶中的電子,屬電子型導(dǎo)電,稱N型半導(dǎo)體。
PN結(jié) P型半導(dǎo)體與N型半導(dǎo)體相互接觸時,其交界區(qū)域稱為PN結(jié)。P區(qū)中的自由空穴和N區(qū)中的自由電子要向?qū)Ψ絽^(qū)域擴散,造成正負電荷在
PN
結(jié)兩側(cè)的積累,形成電偶極層。電偶極層中的電場方向正好阻止擴散的進行。當(dāng)由于載流子數(shù)密度不等引起的擴散作用與電偶層中電場的作用達到平衡時,P區(qū)和N區(qū)之間形成一定的電勢差,稱為接觸電勢差。由于P
區(qū)中的空穴向N區(qū)擴散后與N區(qū)中的電子復(fù)合,而N區(qū)中的電子向P區(qū)擴散后與P
區(qū)中的空穴復(fù)合,這使電偶極層中自由載流子數(shù)減少而形成高阻層,故電偶極層也叫阻擋層,阻擋層的電阻值往往是組成PN結(jié)的半導(dǎo)體的原有阻值的幾十倍乃至幾百倍。
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